15日，長江日報(bào)記者探訪國家存儲(chǔ)器基地芯片生產(chǎn)車間換裝區(qū)，剛走到門口，記者就明顯感到有股風(fēng)迎面吹來。原來，這是潔凈室內(nèi)的排氣系統(tǒng)利用風(fēng)壓，把風(fēng)往外吹，這樣就能把灰塵隔絕在外面。
芯片就是在這樣的無塵空間里生產(chǎn)出來的。車間的換裝區(qū)潔凈程度等級(jí)為Class10000，也就是說，每立方英尺內(nèi)大于等于0.5um(微米)的灰塵顆粒不能超過10000顆。里面的生產(chǎn)區(qū)潔凈度是Class100，與進(jìn)行器官移植手術(shù)的最潔凈的手術(shù)室相當(dāng)。在芯片原材料——晶圓所暴露的直接生產(chǎn)區(qū)，潔凈度是Class1，比手術(shù)室還潔凈一百倍。
這是全球單座潔凈面積最大的3D閃存芯片生產(chǎn)廠房。“潔凈室是按照全球最高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)的，只有這樣的潔凈室才能生產(chǎn)出我們需要的高質(zhì)量芯片。”長江存儲(chǔ)廠務(wù)部負(fù)責(zé)人張朝萬說。
芯片生產(chǎn)區(qū)域裝配有空氣循環(huán)系統(tǒng)，天花板上布滿細(xì)密的小網(wǎng)格，這些是空氣過濾器，腳下則是高架地板，氣流從上到下流動(dòng)，灰塵被帶入地板下，空氣經(jīng)過濾處理后再循環(huán)至天花板。
我國自主研發(fā)的第一批32層三維閃存芯片，今年內(nèi)就要在這里量產(chǎn)。這個(gè)芯片耗資10億美元，由1000人的團(tuán)隊(duì)用了兩年時(shí)間研發(fā)出來，擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。目前，64層的三維閃存芯片也正在緊鑼密鼓地研發(fā)當(dāng)中，有希望明年量產(chǎn)。這標(biāo)志著中國企業(yè)在填補(bǔ)芯片領(lǐng)取空白邁出了重要一步，進(jìn)一步拉近了我國在高端芯片領(lǐng)域與少數(shù)先進(jìn)國家的距離。
